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HPR-50, Analizador de Gas para Deposición de Diamante |
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Análisis inferior al ppm de todos los componentes y subproductos de procesos de crecimiento del diamante.
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CVD
PECVD
Control de procesos / vigilancia en línea y en tiempo real
Estudios de contaminación
Análisis de subproductos
Para una mejor reproducibilidad y calidad de productos |
Características del espectrómetro de masas HPR-50 con separación de vías, un analizador de gas a medida concebido para el control de procesos de crecimiento del espesor del diamante:
Tubo de introducción con suspensión de vías, con respuesta ultra rápida para muestreo de haces moleculares.
Gran sensibilidad (hasta 5 ppb), rango de masa: 200, 300 o 500 uma.
Tubo de introducción inerte calefaccionado para caracterizar los intermediarios reaccionarios y productos.
Trampa criogénica de nitrógeno líquido para un vacío óptimo / interferencias mínimas entre espectros.
Sonda Penning y sistema de enclavamiento para asegurar una protección contra las supresiones.
Presión de muestreo de 20 a 400 Torr.
Estabilidad (menos de ± 0,5% de variación global de pico a pico en 24h).
Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
Ionización suave para análisis de moléculas orgánicas complejas y estudios por APMS.
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