Espectrómetros de masas cuadrupolares de triple filtro para análisis precisos de gases y aplicaciones científicas.

Ciencia de superficies Estudios de haces moleculares Desorción utilizando un programa de temperaturas en ultra vacío (UHV) Analizador de gases residuales de altas prestaciones Estudios de conglomerados Detección de fugas / fugas virtuales Desorción / estudio de desgasificación Contaminantes de la cámara / de gases durante los procesos

Características de los espectrómetros de masas Hiden HAL/3F para aplicaciones científicas y los procesos de alta precisión, incluso en UHV:

• Gran sensibilidad, detección mejorada del producto puro (100%) hasta 5 ppb.
• Rango de masa hasta 2500 uma, calibración automática de la escala de masas.
• Estabilidad mejorada de largo termino (menos de ± 0,5% de variación global pico a pico en 24 h).
• Control de la fuente de iones para ionización suave y espectrometría de masas APMS.
• Sensibilidad aumentada en el caso de masas elevadas, diámetro de polo: 6,9 o 12 mm.
• Elección entre un gran abanico de configuraciones de ionización, por ej: dimensiones min. XBS
• Resistencia a la contaminación aumentada por prefiltrado de radiofrecuencia (RF).
• Lectura de la temperatura integrada en la visualización de datos para las aplicaciones en Desorción térmica.
• Posibilidad de integrar un aparato de conteo de impulsos de iones en un rango dinámico de 7 décadas en continuo.
• Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.

3F Series Quadrupole Mass Spectrometers (671K)

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35MB)

Characterisation of ALD TiOx (553K)

3F Series Quadrupole Mass Spectrometer Dimensions (290K)

Data Control Inputs and Outputs and Special Applications (17K)

Quadrupole Mass Spectrometers for RGA, Gas Analysis and Process Monitoring (681K)

RGA: Minimum Detectable Partial Pressure (108K)

UHV TPD Custom Shrouds (2752K)

3F/PIC Systems for UHV Temperature Programmed Desorption (85K)

Ultimate Sensitivity Quadrupole Mass Spectrometer Detection (157K)