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IMP, Sonda Iónica de grabado – Detector de ataque final |
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La única herramienta utilizada para la determinación del punto de parada para el control del grabado iónico con una calidad optima de los procesos. | | Análisis de ataque final Determinación de la impurezas del blanco Control de calidad / control estadístico de proceso (SPC) Análisis de gases residuales Detección de fugas |
Características de la sonda de grabado iónico (IMP) de bombeo diferencial, espectrómetro de masas de iones secundarios reforzado, utilizado para el análisis de iones secundarios y de partículas neutras emitidos durante procesos de grabado iónico. - SIMS / MS de gran sensibilidad con sistema de conteo de impulsos de iones.
- Triple filtro cuadrupolar, rango de masa estándar : 300 uma.
- Rampa de bombeo diferencial con brida de montaje hacia la camarada de análisis.
- Óptica iónica con analizador de energía e ionizador integral.
- Medidor Penning y sistema de cierre para asegurar una protección contra las sobre presiones.
- Sistema de datos integrado a la herramienta de análisis.
- Estabilidad (menos de ± 0,5% de variación global de pico a pico en 24h).
- Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
- Programable DDE, interface numérico paralelo E / S, comunicación por “script” según protocolo RS232.
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