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Hiden XBS MBE - Analizador de haces Cruzados (XBS) |
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Espectrómetros de masas cuadrupolares de triple filtro con XBS para los análisis precisos de gases y para las aplicaciones científicas.  | - Medida y control de flujo para EJM/MBE
- Estudios de haces moleculares
- Análisis de múltiples fuentes de haces cruzados
- Analizador de gas residual de altas prestaciones
- Contaminantes de la cámara / de los gases de procesos
- Desorción / estudios de desgasificación / ciclos de horneado
- Monitorización de flujo de las células de efusión y de las fuentes de bombardeo electrónico
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Características de los espectrómetros de masas Hiden XBS para las aplicaciones científicas, los análisis de los procesos en vacío y las medidas de flujo para EJM – MBE: - Gran sensibilidad, detección mejorada del producto puro (100%) a 5 ppb, rango de masas hasta 510 uma.
- Estabilidad mejorada en el tramo largo (menos de ± 0,5% de variación global pico a pico en 24 h).
- Fuente de haces de iones cruzados, ángulo variable entre +/- 35º en relación con el eje transversal.
- Control de la fuente de iones para ionización suave y espectrometría de masas APMS.
- Sensibilidad aumentada en el caso de masas elevadas, calibración automática de la escala de masas.
- Apertura del haz configurado: 2 mm.
- Resistencia a la contaminación aumentada por prefiltrado RF.
- Cubierta integral compatible UHV enfriada con agua.
- Limite de detección hasta 30 iones / durante estudios de haces moleculares.
- Control de velocidad de incremento inferior o igual a 1Å / min.
- Software MASsoft de control, compatible con WindowsTM , mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
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