Inicio Catalogo de Productos Aparatos de control de Procesos Hiden XBS MBE - Analizador de haces Cruzados (XBS)
Hiden XBS MBE - Analizador de haces Cruzados (XBS)

Espectrómetros de masas cuadrupolares de triple filtro con XBS para los análisis precisos de gases y para las aplicaciones científicas.

 

  • Medida y control de flujo para EJM/MBE
  • Estudios de haces moleculares
  • Análisis de múltiples fuentes de haces cruzados
  • Analizador de gas residual de altas prestaciones
  • Contaminantes de la cámara / de los gases de procesos
  • Desorción / estudios de desgasificación / ciclos de horneado
  • Monitorización de flujo de las células de efusión y de las fuentes de bombardeo electrónico

 

Características de los espectrómetros de masas Hiden XBS para las aplicaciones científicas, los análisis de los procesos en vacío y las medidas de flujo para EJM – MBE:

 

  • Gran sensibilidad, detección mejorada del producto puro (100%) a 5 ppb, rango de masas hasta 510 uma.
  • Estabilidad mejorada en el tramo largo (menos de ± 0,5% de variación global pico a pico en 24 h).
  • Fuente de haces de iones cruzados, ángulo variable entre +/- 35º en relación con el eje transversal.
  • Control de la fuente de iones para ionización suave y espectrometría de masas APMS.
  • Sensibilidad aumentada en el caso de masas elevadas, calibración automática de la escala de masas.
  • Apertura del haz configurado: 2 mm.
  • Resistencia a la contaminación aumentada por prefiltrado RF.
  • Cubierta integral compatible UHV enfriada con agua.
  • Limite de detección hasta 30 iones / durante estudios de haces moleculares.
  • Control de velocidad de incremento inferior o igual a 1Å / min.
  • Software MASsoft de control, compatible con WindowsTM , mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.