|
Puesto de trabajo SIMS con el analizador de masa |
|
Una estación de análisis SIMS robusta y de uso general.  | Cambio de las muestras de todo tipo SIMS estático y dinámico Ionizador integral para analizadores de gases residuales (RGA) y espectrometría de masa de iones secundarios neutralizados (SNMS) Modificación de superficie / estudios de barrido Barrido / imágenes de superficie SIMS Análisis de contaminación de superficie |
Características del puesto de trabajo SIMS Hiden, un aparato integrado UHV / SIMS para el análisis en profundidad de las superficies: Analizador Hiden SIM EQS operando con el software MASsoft para el análisis con ppb. Analizador de masa y de energía para iones positivos y negativos, los neutros y radicales. Elección entre cañón de iones Hiden IG20 de bombeo o diferencial, el FAB IFG200 o cañones de galio líquido de alta prestación como fuente de cebado primario. Control integral de barrido del cañón de iones, con puerta de adquisición de la señal para los perfiles en profundidad. Posibilidad de un cañón de electrones para la neutralización de la carga durante estudios de aislantes. Trampa criogénica de nitrógeno líquido y filamentos calefactores de horneado (bake out) en la cámara al vacío. Transferencia rápida de muestras, soporte de muestra y manipulador con antecámara de carga (SAS). Manipulador compatible UHV con 4 ejes X, Y, Z y thêta para un posicionamiento óptimo de la muestra. Possibilité d’imagerie locale SIMS avec le programme d’imagerie ESM LabVIEW SIMS Posibilidad de una biblioteca de espectros SIMS estática. Ajuste automático de la lente de óptica iónica SIMS y calibración automática de la escala de masas para prestaciones óptimas en SIMS.
|
Catalogo de Productos