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EQS, espectrómetro de masas de iones secundarias |
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Lo último en sonda SIMS “para montar” para integrar, en una cámara UHV para el estudio de superficies.  | - SIMS estática / dinámico
- Sistema de análisis de superficie de uso general y robusto
- Ionizador frontal integral para analizadores de gases residuales (RGA) y por espectrometría de masas de iones secundarias neutralizadas
- Compatible con cañón de iones/de bombardeo por átomo rápido (FAB)
- Análisis de composición y contaminación
- Perfil en profundidad
- Detección de fugas
- Compatible con puesto de trabajo SIMS Hiden
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Características del espectrómetro de masas de iones secundarios con bombeo diferencial EQS, para el análisis de iones secundarios, positivos y negativos, y partículas neutras en muestras sólidas: Sistema conteo de impulsos de iones de gran sensibilidad en un rango dinámico de 7 décadas. Posibilidad de imágenes SIMS con resolución submicrónica. Control de barrido (raster) para obtener mejores perfiles en profundidad. Analizador de sector electrostático de 45 ºC, incremento de barrido en energía: 0,05 eV y 0,25 eV de ancho a media altura. Perturbación mínima de trayectoria de iones y transferencia constante de iones a todas las energías. Triple filtro cuadrupolar de bombeo diferencial, rango de masa hasta 2500 uma. Gran sensibilidad y estabilidad del sistema de conteo de impulsos de iones. Sonda Penning y sistema de bloqueo para asegurar una protección contra las sobre presiones. Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
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