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ESPion, Sonda de Langmuir perfeccionada |
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La sonda de Langmur es la mas perfeccionada y la mas fiable para:  | Erosión / grabado, deposición y limpieza para plasma Procesos de impulsiones plasma Colecta de iones (Ni y Gi) Aminorar la velocidad de los electrones (Te y FDEE) Colecta de electrones (Ne) Potencial del plasma Longitud de Debye, Potencial flotante |
Características de la sonda de Langmuir perfeccionada ESPion, para análisis de plasma rapidas, fiables y precisas en la industria o la investigación: - Velocidad de adquisición: 15 barridos / s, interfase D-O-E para análisis automáticas, semi automáticas y manuales.
- Hiden, siendo un pionero en la compensación de radio frecuencia pasiva, la sonda ESPion posee la impedancia de bloqueo mas fuerte de entre todos los aparatos comercializados (4.25 Mohm a 13.56 MHz cf. 100Kohm).
- Cadena de enfriamiento del gas de inductores múltiples para un funcionamiento a alta temperatura del plasma, remplazable por el utilizador y permitiendo un ajuste a otras frecuencias.
- La sonda de referencia compensa los efectos de baja frecuencia, por ej. : variación de potencial del plasma ( por ej.: paredes de la cámara anonizadas) o ruidos de fondo (por ej.: alimentación eléctrica).
- ESPion posee las especificaciones de impulsos plasma mas rápidas de todas las sondas comercializadas, la versión estándar de ESPsoft incluye todos los circuitos de mando necesarios.
- Posibilidad de un accionamiento lineal automático 300, 600, 915 mm, de una válvula de aislamiento enclavada, de sondas a 90º y de un accionamiento combinado lineal – rotatorio.
- Ciclo de auto limpieza para limitar la contaminación de la punta de la sonde.
- Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
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