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PSM, Analizador de Masas y de Energía |
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Análisis de masas totalmente resueltas en energía y análisis de energía totalmente resuelta en masa de todas las especies presentes en su plasma.  | Grabado por haz iónico Estudios de deposición plasma Implantación iónica / ablación láser Análisis de gases residuales Detección de fugas |
Características del analizador PSM de bombeo diferencial para el análisis de iones secundarios y partículas neutras en procesos de plasma: Rampa con bombeo diferencial y brida de montaje hacia la cámara de análisis. Triple filtro cuadrupolar de bombeo diferencial, rango de masa hasta 2500 uma. Conteo de impulsos de iones de gran sensibilidad y estabilidad, rango dinámico de 7 décadas. Possibilité d’analyse énergétique par balayage de polarisation, standard : ±100eV, option 1000eV. Ópticas iónicas de extracción y exclusión con ionizador integral ajustable para espectrometría de masas APMS con posibilidad de captura de electrones. Sonda Penning y sistema de enclavamiento para asegurar una protección contra sobre presiones. Puerta de adquisición de la señal hasta 1µs para estudios en plasmas pulsados obtención de distribuciones de energía y masas en función del tiempo. Análisis estándar de partículas neutras y radicales, posibilidad de análisis de iones +ve/-ve. Posibilidad de pantalla en mu-metal o radio-metal, opción para un funcionamiento en alta presión. Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
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