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EQP, Analizador de Masas y de Energía |
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Análisis de masas totalmente resueltas en energía y análisis de energía totalmente resuelta en masa de todas las especies presentes en su plasma.  | Estudios de erosión / de deposición Implantación iónico / ablación láser Análisis de gases residuales / detección de fugas Acoplamiento electrodo plasma – seguimiento del estado del electrodo en funcionamiento Análisis a través de una ventana, electrodo de masa, electrodo e mando |
Características del analizador combinado masa / energía Hiden EQP para el análisis de iones positivos y negativos y de partículas neutras y radicales durante los procesos plasma: Ópticas de extracción de iones controladas por software para una perturbación mínima del plasma. Analizador de sector electroestático de 45º, incremento de barrido en energía: 0,05 eV y 0,25 eV de ancho a media altura. Perturbación mínima de la trayectoria de los iones y transferencia constante de iones a todas las energías. Triple filtro cuadrupolar de bombeo diferencial, rango de masa hasta 2500 uma. Conteo de impulsos de iones de gran sensibilidad y estabilidad, rango dinámico de 7 décadas. Ionizador integral ajustable para espectrometría de masas APMS con posibilidad de captura de electrones. Sonda Penning y sistema de enclavamiento para asegurar una protección contra sobre presiones. Resolución / puerta de adquisición de la señal : 1 s para los plasmas pulsados o la distribución de energía y de masas en función del tiempo. Opción 1000 Ev, opción flotante hasta 10 KeV, opción captador de Faraday para los plasma de alta densidad. Posibilidad de pantalla en mu-metal o radio-metal, opción para un funcionamiento en alta presión. Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
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