Un leader mondial...

 

Hiden Analytical est un leader mondial depuis plus de vingt ans dans la conception et la fabrication d'instruments destinés aux applications dans les secteurs de la recherche, du développement et de la production.

 

Nos spectromètres de masse quadripolaires ont acquis une réputation internationale pour leur précision ainsi que leur remarquable performance des processus liés au plasma, aux surfaces, au vide et à l'analyse des gaz.

 

 

- Instruments d'analyse de gaz résiduels (RGA)
- Applications en sciences UHV
- Analyse de gaz
- Caractérisation du plasma
- Analyse d'interface de surfaces - SIMS
- Sonde de Gravure Ionique (détection en fin d'attaque) dans les applications sur semiconducteurs
- Vannes d'échantillonnage multidirectionnelle PROTEUS

 

 

La série Hiden RGA englobe une gamme de configurations en quadripôles, source d'ions et détecteurs pouvant répondre à toutes les applications. Depuis l'instrument compact HALO 100 et sa pression minimum partielle détectable d'1 x 10-11mbar au système de double détection de Faraday/multiplicateur d'électrons du HAL-201 avec sa pression minimum partielle détectable de 5 x 10-14mbar; chacun étant calibré par rapport à un gaz de calibrage de référence standard et une jauge d'ionisation secondaire standard.

 

Chaque instrument particulier de la gamme d'analyseurs de gaz résiduel de la série Hiden RGA répond à tous les impératifs des applications, que ce soit des vérifications de routine pour détecter des fuites et empreintes de vide dans les semi-conducteurs PVD et implantations d'ions ou contrôle de contamination et identification de fuites virtuelles en MBE.

 

Pour l'analyse de masse élevée, nos instruments de la série 3F offrent des options d'une gamme de masses allant jusqu'à 1000 amu, système de détection double de Faraday/détecteur multiplicateur d'électrons analogique et une gamme d'ioniseurs. La série 3F offre une transmission de masse élevée accrue, une meilleure résistance à la contamination, une stabilité à long terme et une sensibilité élevée à la profusion.

 

 

Série HIDEN 3F de spectromètres de masse quadripolaires à triple filtre pour une analyse de précision des gaz et applications scientifiques, y compris systèmes Hiden 3F/PIC avec détection de comptage des ions à impulsions pour études des gaz UHV à manifestation rapide, systèmes EPIC pour analyse des radicaux et mesures résolues en temps systèmes IDP pour études de désorption stimulée à électrons/photons/laser et analyse de la masse des ions à faible énergie.

 

 

 

Systèmes de spectromètres de masse d'échantillonnage dynamique pour une analyse quantitative de gaz pour les études de réactions des gaz, contrôle de processus en ligne, analyse de la pureté et mesures de composition des gaz.

 

Le système HPR-20 est un système d'analyse monté sur banc, chariot ou console pour l'analyse des gaz en continu à des pressions atteignant l'atmosphère. Grandes sensibilité et stabilité et gamme dynamique étendue font du système HPR-20 le complément idéal des systèmes GC-MS de laboratoire.

 

 

 


Le système HIDEN EQP est un analyseur d'énergie des ions à transmission élevée et un spectromètre de masse quadripolaire conçu pour être utilisé comme outil de diagnostic du plasma. Le spectromètre acquiert des spectres de masse, des spectres d'énergie et des spectres d'apparence potentielle, procurant une analyse détaillée des ions positifs, des ions négatifs, radicaux et neutres. Les tendances en intensité peuvent être déterminées par rapport au temps. On peut étudier les phénomènes transitoires et incandescences résiduelles grâce à une acquisition rapide des données. L'EQP convient également à l'analyse du flux des ions à partir des sources d'ions et tubes à transit.

 

L'ESPION de Hiden Analytical est la sonde de Langmuir la plus précise et la plus moderne qui soit disponible aujourd'hui aux chercheurs. Développée par une équipe expérimentée de scientifiques et d'ingénieurs venant du secteur universitaire ou de la fabrication d'équipement à semiconducteurs de pointe, l'ESPION est conçu pour faire face aux besoins exigeants des utilisateurs des secteurs universitaires ou industriels qui demandent des diagnostics de plasma rapides, précis et fiables. L'évaluation indépendante qui fait appel aux techniques telles que la sonde d'oscillation du plasma les mesures basées sur micro-ondes et analyseur de masse/énergie Hiden EQP, assurent le meilleur facteur de confiance disponibles en mesures de sonde de Langmuir.

 

 

 

Spectromètres de masse ionique secondaire de fabrication de pointe de Hiden pour les applications statiques et dynamiques SIMS. On peut analyser les espèces ionisées de masses atteignant 1000 amu. On utilise une source intégrée d'ions à impact électronique pour l'analyse RGA conventionnelle, la détection des fuites et la spectrométrie de masse neutre secondaire (SNMS). L'EQS met en œuvre un triple filtre quadripolaire haute performance et un analyseur de champ à 45 degrés avec lentille de mise au point à entrée de courant continu quadripolaire. Les ions qui passent à travers l'instrument ont des trajectoires à courbes simples avec une transmission de pratiquement 100% à l'intérieur de la bande de passage. L'EQS est doté d'une capacité totale d'analyse de l'énergie des ions à haute résolution. Le comptage d'ions d'1 à 2 x 107cps est effectué à partir d'un détecteur sur axe excentré, de sensibilité élevée, en milieu à faible intensité.

 

 

 

Un schéma précis et reproductible des semiconducteurs, diélectriques et métaux est essentiel pour la réalisation de l'intégration à très grande échelle (VLSI) de composants et dispositifs. Une configuration en lignes fines devient d'autant plus important que la taille des dispositifs se réduit. Il est donc reconnu que la détection en fin d'attaque est nécessaire dans le processus pour éviter de creuser et de perdre le contrôle des caractéristiques. Les systèmes de détection finale de Hiden sont dotés d'un contrôle automatique de la profondeur du creux d'attaque du faisceau ionique et les applications RIE.

 

 

 

Hiden Analytical propose des vannes d'échantillonnage qui mettent en œuvre les techniques de pointe et qui peuvent s'utiliser avec n'importe quel analyseur de gaz. Elles sont destinées aux applications de processus et contrôle liées à l'environnement et où de nombreux point d'échantillonnage sont traités par un analyseur central. Les vannes sont dotées d'un arrangement breveté de joints d'étanchéité autocompensateurs de surface qui offre une excellente étanchéité et une longévité accrue pour des opérations automatiques de fréquence importante. Ces vannes sont disponibles en modèles 20 voies , 40 voies et 80 voies et conviennent aux nouvelles installations ou à la modernisation d'équipement analytique existant.