La fabrication des semi-conducteurs enveloppe un grand nombre de procédés du vide et des plasmas qui nécessitent des instruments de mesure de haute performance pour l'amélioration des méthodes de fabrication et l'augmentation des rendements.

Applications

RGA

Analyse des gaz résiduels

Détection de Fin de Gravure

Détection de fin de gravure lors de l'usine ionique.

Caractérisation du Plasma

Diagnostic électrique et physico-chimique du plasma.

Analyse des Surfaces

Systèmes de détection de haute sensibilité pour l'environnement UHV/XHV.

Contrôle des Vitesses de Déposition par MBE

Sonde XBS