Spectromètres de masse quadripolaires à triple filtre pour l'analyse précise des gaz et le suivi d'applications scientifiques.

Neutres, radicaux, ions positifs et négatifs Etudes des liaisons d’électrons Science des surfaces, études de faisceaux moléculaires Désorption utilisant un programme de température en UHV Analyseur de gaz résiduels de haute performance Désorption / études de dégazage / cycles d’étuvage Contaminants de l’enceinte / de gaz lors de procédés

Caractéristiques des spectromètres de masse Hiden EPIC pour des applications scientifiques et procédés de haute précision et l’analyse des neutres, radicaux et ions en UHV:

• Grande sensibilité, détection améliorée du produit pur (100%) jusqu’à 5 ppb.
• Domaine de masse jusqu’à 2500 uma, diamètre de pôle : 6, 9 ou 12 mm.
• Stabilité améliorée sur le long terme (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).
• Distribution d’énergie ionique par balayage du potentiel de tension de référence du quadrupolaire : ±100 V, option 1000 eV.
• Contrôle de la source d’ions pour une ionisation douce et spectrométrie de masse APMS.
• Sensibilité accrue dans le cas des masses élevées, étalonnage automatique de l’échelle de masse.
• Système de comptage des impulsions d’ions pour un domaine dynamique de 7 décades en continu, option Faraday jusqu’à 5x10¹⁰.
• Résistance à la contamination accrue par pré-filtrage RF.
• Résolution / porte d’acquisition du signal : 1 µs pour l’obtention des distributions d’énergie et de masse en fonction du temps ou pour des études de temps de vol (TOF).
• Lecture de la température intégrée dans l’affichage de données pour les applications en désorption thermique.
• Enveloppe intégrale compatible UHV, possibilité d’une enveloppe refroidie à l’azote liquide.
• Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.
• Possibilité d’évolutivité vers des spécifications plasma / SIMS.