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IMP, Sonde de Gravure Ionique – Détecteur de Fin d'Attaque |
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Le seul outil dédié à la détermination du point d’arrêt pour le contrôle de la gravure ionique avec une qualité optimale des procédés. | | Analyse de fin d'attaque Détermination des impuretés de cible Contrôle de qualité / contrôle statistique de procédé (SPC) Analyse des gaz résiduels Détection des fuites |
Caractéristiques de la sonde de gravure ionique (IMP) à pompage différentiel, spectromètre de masse d’ions secondaires renforcé utilisé pour l’analyse des ions secondaires et des particules neutres émis lors de procédés de la gravure ionique: - SIMS / MS de grande sensibilité avec système de comptage des impulsions d’ions.
- Triple filtre quadrupolaire, domaine de masse standard : 300 uma.
- Rampe à pompage différentiel avec bride de montage vers la chambre d’analyse.
- Optiques ioniques avec analyseur d’énergie et ioniseur intégral.
- Jauge de Penning et système de verrouillage pour assurer une protection contre les surpressions.
- Système de données intégré à l’outil d’analyse.
- Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).
- Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.
- Programmable DDE, interface numérique parallèle E / S, communication par script selon le protocole RS232.
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