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Science des Surfaces
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EQS, Canons a Ions / FAB, SIMS et IDP.

 
1 EQS, Analyseur de masse et d'énergie
2 Station de Travail SIMS
3 MAXIM - Analyseur SIMS et SNMS quadripolaire
4 IDP : Analyseur d'ions de faible énergie
5 Station de travail TPD pour l'étude de la désorption thermique
6 Canons à Ions / FAB
7 Canon à Ions IG20
8 Canon à ions césiums IG5C
9 IFG200 Canon à Ions ou Canon à Bombardement par Atome Rapide