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Une station d’analyse SIMS robuste et d’usage général.
 | Remplacement rapide des échantillons de tous types SIMS statique et dynamique Ioniseur intégral pour analyseurs de gaz résiduels (RGA) et spectrométrie de masse d’ions secondaires neutralisés (SNMS) Modification de surface / études de balayage Balayage / imagerie de surface SIMS Analyse de contamination de surface |
Caractéristiques du poste de travail SIMS Hiden, un appareil intégré UHV / SIMS pour l’analyse approfondie des surfaces:
Analyseur Hiden MAXIM opérant sous le logiciel MASsoft pour l’analyse au ppb. Analyseur de masse et d’énergie pour les ions positifs et négatifs, les neutres et les radicaux. Choix entre le canon à ion Hiden IG20 à pompage différentiel, le FAB IFG200 ou des canons à gallium liquide de haute performance comme source d’excitation primaire. Contrôle intégral du balayage du canon à ion, avec porte d’acquisition du signal pour les profils en profondeur. Possibilité d’un canon à électrons pour la neutralisation de la charge lors des études d’isolants. Piège cryogénique à azote liquide et filaments chauffants d’étuvage dans la chambre à vide. Transfert rapide d’échantillons, support d’échantillon et manipulateur avec sas de chargement. Manipulateur compatible UHV avec 4 axes, X, Y, Z et thêta pour un positionnement optimal de l’échantillon. Possibilité d’imagerie locale SIMS avec le programme d’imagerie ESM LabVIEW SIMS. Possibilité d’une bibliothèque de spectres de SIMS statique. Réglage automatique de la lentille d'optique ionique SIMS et étalonnage automatique de l’échelle de masse pour des performances optimales en SIMS.
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