|
EQS, Analyseur de masse et d'énergie |
|
Sonde SIMS « prête à monter» à intégrer sur une chambre UHV dédiée à l’étude des surfaces.
 | - SIMS statique / dynamique
- Système d’analyse de surface d’usage général et robuste
- Ioniseur frontal intégral pour analyseurs de gaz résiduels (RGA) et par spectrométrie de masse d’ions secondaires neutralisés (SNMS)
- Compatible avec canon à ions / à bombardement par atome rapide (FAB)
- Analyse de composition et de contamination
- Profil en profondeur
- Détection des fuites
- Compatible avec le poste de travail SIMS Hiden
|
Caractéristiques du spectromètre de masse d’ions secondaires, EQS, à pompage différentiel, pour l’analyse des ions secondaires, positifs et négatifs, et des particules neutres dans des échantillons solides:
Système de comptage des impulsions d’ions d’une grande sensibilité sur un domaine dynamique de 7 décades. Possibilité d’imagerie SIMS à résolution submicronique. Contrôle du balayage (raster) pour obtenir de meilleurs profils en profondeur. Analyseur à secteur électrostatique de 45°, incrément de balayage en énergie : 0,05 eV et 0,25 eV de largeur à mi-hauteur. Perturbation minimale de la trajectoire des ions et transfert constant d’ions à toutes les énergies. Triple filtre quadrupolaire à pompage différentiel, domaine de masse jusqu’à 2500 uma. Grande sensibilité et stabilité du système de comptage des impulsions d’ions. Jauge de Penning et système de verrouillage pour assurer une protection contre les surpressions. Logiciel MASsoft de contrôle, via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.
|
