|
ESPion, Sonde de Langmuir perfectionnée |
|
La sonde de Langmuir la plus perfectionnée et la plus fiable pour:  | Erosion/gravure, dépôt et nettoyage par plasma Procédés d’impulsions plasma Collecte d’ions (Ni et Gi) Ralentissement des électrons (Te et FDEE) Collecte d’électrons (Ne) Potentiel du plasma Longueur de Debye, potentiel flottant |
Caractéristiques de la sonde de Langmuir perfectionnée ESPion, pour des analyses de plasma rapides, fiables et précises dans l’industrie ou la recherche: - Vitesse d’acquisition : 15 balayages / s, interface D-O-E pour des analyses automatiques, semi-automatiques et manuelles.
- Hiden étant un pionnier dans la compensation radio-fréquence passive, la sonde ESPion possède l’impédance de blocage la plus forte parmi tous les appareils commercialisés (4.25Mohm à 13.56MHz cf. 100kohm).
- Chaîne de refroidissement du gaz à inducteurs multiples pour un fonctionnement à haute température du plasma, remplaçable par l’utilisateur et permettant un réglage à d’autres fréquences.
- La sonde de référence compense les effets de basse fréquence, par ex. : variation de potentiel du plasma (par ex. : parois de l’enceinte anodisées) ou bruit de fond (par ex. : alimentation électrique).
- ESPion possède les spécifications d’impulsions plasma les plus rapides de toutes les sondes commercialisées, la version standard d'ESPsoft comporte tous les circuits de commandes nécessaires.
- Possibilités d’un entraînement linéaire automatique 300, 600 ou 915mm, d’une vanne d’isolation verrouillée, de sondes à 90° et d’un entraînement combiné linéaire - rotatif.
- Cycle d’auto-nettoyage pour limiter la contamination de la pointe de la sonde.
- Logiciel ESPsoft de contrôle, via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.
|
