|
PSM Analyseur de Masse et d’Energie pour l’Analyse du Plasma |
|
Analyse de masse entièrement résolue en énergie et analyse d’énergie entièrement résolue en masse de toutes les espèces présentes dans votre plasma.  | Gravure par faisceau ionique Etudes de dépôt plasma Implantation ionique / ablation laser Analyse des gaz résiduels Détection des fuites |
Caractéristiques du spectromètre de masse PSM à pompage différentiel pour l’analyse des ions secondaires et des particules neutres dans les procédés plasma: Rampe à pompage différentiel avec bride de montage vers la chambre d’analyse. Triple filtre quadrupolaire de grande sensibilité et stabilité, domaine de masse jusqu’à 2500uma. Comptage des impulsions d’ions avec domaine dynamique de 7 décades. Possibilité d’analyse énergétique par balayage de polarisation, standard : ±100eV, option 1000eV. Optiques ioniques d’extraction et d’exclusion avec ioniseur intégral réglable pour spectrométrie de masse APMS avec possibilité de capture d’électrons. Jauge de Penning et système de verrouillage pour assurer une protection contre les surpressions. Porte d’acquisition du signal jusqu’à 1µs pour les études en plasmas pulsés ou l’obtention des distributions d’énergie et de masse en fonction du temps. Analyse standard des particules neutres et radicalaires, possibilité d’analyse d’ions +ve / -ve. Possibilité d’écran en mu-métal ou radio-métal ; option pour un fonctionnement sous haute pression. Logiciel MASsoft de contrôle, via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.
|
