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EQP Analyseur de Masse et d’Energie pour l’Analyse du Plasma |
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Analyse de masse entièrement résolue en énergie et analyse d’énergie entièrement résolue en masse de toutes les espèces présentes dans votre plasma.
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Analyse des ions positif, négatif, des neutres et autres radicaux du plasma
Suivis de gravure / de dépôt
Implantation ionique / ablation laser
Analyse de gaz résiduels / détection de fuites
Couplage électrode plasma – suivi de l’état de l’électrode en fonctionnement
Electrode d'échantillonnage à la masse ou biaisée en RF et/ou DC |
Caractéristiques de l’analyseur combiné masse / énergie Hiden EQP pour l’analyse des ions positifs et négatifs et des particules neutres et radicalaires lors de procédés plasma:
Lentilles électrostatiques d'extraction des ions conçues pour une perturbation minimale du plasma.
Analyseur d'énergie à secteur électrostatique de 45°, balayage en énergie par pas de 0,05 eV et résolution de 0,25 eV (FWHM).
Perturbation minimale de la trajectoire des ions permettant un transfert constant à toutes les énergies.
Triple filtre quadripolaire avec un domaine de masse allant jusqu’à 2500 uma.
Compteur d’ions de grande sensibilité et stabilité, avec un domaine de comptage de 7 décades.
Ioniseur intégral avec possibilité de balayage de l'énergie des électrons pour la spectrométrie de masse à ionisation près du seuil. Egalement possibilité de travailler en mode d'attachement électronique.
Pompage différentiel au travers de diaphrammes de différentes tailles permettant ainsi de travailler sur une gamme étendue de pression.
Jauge de Penning et système de verrouillage pour assurer une protection contre les surpressions.
Mode résolu dans le temps : résolution de 1 µs permettant l'analyse de plasmas pulsés.
Option haute énergie de 1000 eV, option flottante jusqu’à 10 keV, option cage de Faraday pour les plasmas de haute densité.
Possibilité d’écran en mu-métal ou radio-métal, option pour un fonctionnement à haute pression.
Logiciel MASsoft de contrôle, via une interface RS232, USB ou un réseau Ethernet LAN.
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