Hiden RGA, Espectrómetros de Masas Cuadrupolares

Analizadores de gases residuales
para el análisis preciso del vacío
 

• Analizador de gases residuales (RGA) / detección de fugas.
• Fugas virtuales / deserción.
• Estudios de desgasificación.
• Ciclos de horneado “bake out”.
• Altas prestaciones de bombeo.
• Contaminantes de la cámara /de gases durante los procesos.

 

Características de los espectrómetros de masas cuadrupolares Hiden, serie RGA, para el análisis de los elementos presentes dentro de un contenedor u obtenidos durante un proceso:

 

• Sensibilidad al PPM, rango de masa hasta 300 uma, interface de control remoto (PC) o local.
• Estabilidad (menos de ±0,5% de variación global pico a pico en 24h).
• Software MASsoft de control mediante interface RS232, RS485 o sistemas múltiples mediante red Ethernet LAN.
• Acceso rápido a los histogramas a los análisis de tendencia y a la visualización analógica de los picos.
• Barrido de modos, por ej: análisis de tendencia, histogramas y visualización analógica de los picos en ventanas múltiples.
• Visualización simultanea en tiempo real en forma de gráficos y tablas de datos del análisis de tendencia.
• Cursor para la identificación de la altura de pico pilotado por el ratón.
• Sustracción del fondo continuo en tiempo real, calibración automática de la escala de masa.
• Posibilidad de exportación de datos al formato ASCII y hacia todos los periféricos Windows™ compatibles.
• Posibilidad de intercambio de datos dinámicos (DDE) para la transferencia en tiempo real de datos hacia otras aplicaciones compatibles DDE Windows™, por ejemplo: Excel, software SPC-IV de control estático de procesos.

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