Hiden HPR-50, analizador de gas para deposición de diamante para CVD

Análisis inferior al ppm de todos los componentes y
subproductos de procesos de crecimiento del diamante.

• CVD
• PECVD
• Control de procesos / vigilancia en línea y en tiempo real.
• Estudios de contaminación.
• Análisis de subproductos.
• Para una mejor reproducibilidad y calidad de productos.

 

Características del espectrómetro de masas HPR-50 con separación de vías, un analizador de gas a medida concebido para el control de procesos de crecimiento del espesor del diamante:

 

• Tubo de introducción con suspensión de vías, con respuesta ultra rápida para muestreo de haces moleculares.
• Gran sensibilidad (hasta 5 ppb), rango de masa: 200, 300 o 500 uma.
• Tubo de introducción inerte calefaccionado para caracterizar los intermediarios reaccionarios y productos.
• Trampa criogénica de nitrógeno líquido para un vacío óptimo / interferencias mínimas entre espectros.
• Sonda Penning y sistema de enclavamiento para asegurar una protección contra las supresiones.
• Presión de muestreo de 20 a 400 Torr.
• Estabilidad (menos de ± 0,5% de variación global de pico a pico en 24h)
• Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN
• Ionización suave para análisis de moléculas orgánicas complejas y estudios por APMS.

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