Hiden EQS, espectrómetro de masas de iones secundarias

Lo último en sonda SIMS “para montar” para integrar, en una cámara UHV para el estudio de superficies.

• SIMS estática / dinámico.
• Sistema de análisis de superficie de uso general y robusto.
• Ionizador frontal integral para analizadores de gases residuales (RGA) y por espectrometría de masas de iones secundarias neutralizadas.
• Compatible con cañón de iones/de bombardeo por átomo rápido (FAB).
• Análisis de composición y contaminación.
• Perfil en profundidad.
• Detección de fugas.
• Compatible con puesto de trabajo SIMS Hiden.

 

Características del espectrómetro de masas de iones secundarios con bombeo diferencial EQS, para el análisis de iones secundarios, positivos y negativos, y partículas neutras en muestras sólidas:

 

• Sistema conteo de impulsos de iones de gran sensibilidad en un rango dinámico de 7 décadas.
• Posibilidad de imágenes SIMS con resolución submicrónica.
• Control de barrido (raster) para obtener mejores perfiles en profundidad.
• Analizador de sector electrostático de 45 ºC, incremento de barrido en energía: 0,05 eV y 0,25 eV de ancho a media altura.
• Perturbación mínima de trayectoria de iones y transferencia constante de iones a todas las energías.
• Triple filtro cuadrupolar de bombeo diferencial, rango de masa hasta 2500 uma.
• Gran sensibilidad y estabilidad del sistema de conteo de impulsos de iones.
• Sonda Penning y sistema de bloqueo para asegurar una protección contra las sobre presiones.
• Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.

Envìeme màs informaciòn