Hiden IG20, cañón de iones

Cañón de iones, con tecnología punta para el análisis de superficie y de profundidad.

• SIMS estático/ dinámico.
• Espectroscopia de electrones Auger.
• Erosión por haz iónico.
• Ciencia de superficies.
• Barrido/perfil en profundidad.

 

Características del cañón de iones Hiden IG20 para la espectrometría de masas SIMS estático y dinámico:

 

• Haz de iones intenso, diámetro del “spot” : 100 µm, energías: 0,5 a 5 KeV
• Densidad de corriente elevada, hasta 4,5 mA/cm²
• Fuente iónica a impacto de electrones con posibilidad de argón u oxígeno.
• Instrumento óptico de redirección del haz para una difusión sobre el eje y un barrido xy del haz para la obtención de perfiles de profundidad.
• Desplazamiento de la 3° columna del cañón de iones para un rechazo óptimo de las partículas neutras.
• Sistema de supresión del haz para una parada rápida del haz en las aplicaciones de barrido.
• Bombeo diferencial de la fuente, para un consumo reducido de gas en la cámara.
• Montaje de filamentos dobles sencillo de reemplazar.
• Velocidad de barrido hasta 64 µs.
• Utilización combinada de sondas SIM y EQS para el control directo de la velocidad y de la superficie de barrido.

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