Características del puesto de trabajo SIMS Hiden, un aparato integrado UHV / SIMS para el análisis en profundidad de las superficies: - Analizador Hiden SIM EQS operando con el software MASsoft para el análisis con ppb.
- Analizador de masa y de energía para iones positivos y negativos, los neutros y radicales.
- Elección entre cañón de iones Hiden IG20 de bombeo o diferencial, el FAB IFG200 o cañones de galio líquido de alta prestación como fuente de cebado primario.
- Control integral de barrido del cañón de iones, con puerta de adquisición de la señal para los perfiles en profundidad.
- Posibilidad de un cañón de electrones para la neutralización de la carga durante estudios de aislantes.
- Trampa criogénica de nitrógeno líquido y filamentos calefactores de horneado (bake out) en la cámara al vacío.
- Transferencia rápida de muestras, soporte de muestra y manipulador con antecámara de carga (SAS).
- Manipulador compatible UHV con 4 ejes X, Y, Z y thêta para un posicionamiento óptimo de la muestra.
- Possibilité d’imagerie locale SIMS avec le programme d’imagerie ESM LabVIEW SIMS
- Posibilidad de una biblioteca de espectros SIMS estática.
- Ajuste automático de la lente de óptica iónica SIMS y calibración automática de la escala de masas para prestaciones óptimas en SIMS.
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