| Hiden EQP, Analizador de Masas y de Energía para el Análisis del Plasma |  | Análisis de masas totalmente resueltas en energía y análisis de energía totalmente resuelta en masa de todas las especies presentes en su plasma.
- Estudios de erosión / de deposición
- Implantación iónico / ablación láser
- Análisis de gases residuales / detección de fugas
- Acoplamiento electrodo plasma – seguimiento del estado del electrodo en funcionamiento
- Análisis a través de una ventana, electrodo de masa, electrodo e mando
| Características del analizador combinado masa / energía Hiden EQP para el análisis de iones positivos y negativos y de partículas neutras y radicales durante los procesos plasma: - Ópticas de extracción de iones controladas por software para una perturbación mínima del plasma
- Analizador de sector electroestático de 45š, incremento de barrido en energía: 0,05 eV y 0,25 eV de ancho a media altura
- Perturbación mínima de la trayectoria de los iones y transferencia constante de iones a todas las energías
- Triple filtro cuadrupolar de bombeo diferencial, rango de masa hasta 2500 uma
- Conteo de impulsos de iones de gran sensibilidad y estabilidad, rango dinámico de 7 décadas
- Ionizador integral ajustable para espectrometría de masas APMS con posibilidad de captura de electrones
- Sonda Penning y sistema de enclavamiento para asegurar una protección contra sobre presiones
- Resolución / puerta de adquisición de la señal : 1 s para los plasmas pulsados o la distribución de energía y de masas en función del tiempo
- Opción 1000 Ev, opción flotante hasta 10 KeV, opción captador de Faraday para los plasma de alta densidad
- Posibilidad de pantalla en mu-metal o radio-metal, opción para un funcionamiento en alta presión
- Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
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