Hiden ESPION, Sonda de Langmuir perfeccionada para el Análisis del plasma

La sonda de Langmur es la mas perfeccionada y la mas fiable para::

• Erosión / grabado, deposición y limpieza para plasma
• Procesos de impulsiones plasma
• Colecta de iones (Ni y Gi)
• Aminorar la velocidad de los electrones (Te y FDEE)
• Colecta de electrones (Ne)
• Potencial del plasma
• Longitud de Debye, Potencial flotante

 

Características de la sonda de Langmuir perfeccionada ESPION, para análisis de plasma
rapidas, fiables y precisas en la industria o la investigación:

 

• Velocidad de adquisición: 15 barridos / s, interfase D-O-E para análisis automáticas, semi automáticas y manuales.
• Hiden, siendo un pionero en la compensación de radio frecuencia pasiva, la sonda ESPION posee la impedancia de bloqueo mas fuerte de entre todos los aparatos comercializados (4.25 Mohm a 13.56 MHz cf. 100Kohm)
• Cadena de enfriamiento del gas de inductores múltiples para un funcionamiento a alta temperatura del plasma, remplazable por el utilizador y permitiendo un ajuste a otras frecuencias.
• La sonda de referencia compensa los efectos de baja frecuencia, por ej. : variación de potencial del plasma ( por ej.: paredes de la cámara anonizadas) o ruidos de fondo (por ej.: alimentación eléctrica)
• ESPION posee las especificaciones de impulsos plasma mas rápidas de todas las sondas comercializadas, la versión estándar de ESPsoft incluye todos los circuitos de mando necesarios
• Posibilidad de un accionamiento lineal automático 300, 600, 915 mm, de una válvula de aislamiento enclavada, de sondas a 90º y de un accionamiento combinado lineal – rotatorio
• Ciclo de auto limpieza para limitar la contaminación de la punta de la sonde
• Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.

Envìeme màs informaciòn