Hiden EPIC, Sistemas con Conteo de Impulsos de Iones y Control de Referencia de Tensión

Espectrómetros de masas cuadrupolares de triple filtro para análisis precisos de gases y aplicaciones científicas.

• Neutros, radicales, iones positivos y negativos
• Estudios de enlaces de electrones
• Ciencia de superficies, estudios de haces moleculares
• Desorción utilizando un programa de temperatura en UHV
• Analizador de gases residuales de alta prestación
• Desorción / estudios de desgasificación / ciclos de horneado (bake out)
• Contaminantes de la cámara / de gases durante los procesos.

 

Características de los espectrómetros de masas Hiden EPIC para aplicaciones científicas y procesos de alta precisión y el análisis de neutros, radicales e iones en UHV:

 

• Gran sensibilidad, detección mejorada del producto puro (100%) hasta 5 ppb.
• Rango de masa hasta 2500 uma, calibración diámetro del polo: 6,9 o 12 mm.
• Estabilidad mejorada en el tramo largo (menos de ± 0,5% de variación global pico a pico en 24 h).
• Distribución de energía iónica para barrido del potencial de tensión de referencia del cuadrupolo: ± 100, opción 1000 eV
• Control de la fuente de iones para ionización suave y espectrometría de masas APMS.
• Sensibilidad aumentada en el caso de masas elevadas, calibración automática de la escala de masa.
• Sistema de conteo de impulsos de iones en un rango dinámico de 7 décadas en continuo, opción Faraday hasta 5x10¹⁰
• Resistencia a la contaminación aumentada por prefiltrado RF.
• Resolución / puerta de adquisición de la señal: 1µ, para obtención de las distribuciones de energía y masa en función del tiempo o para estudios de tiempo de vuelo (TOF)
• Lectura de la temperatura integrada en la visualización de datos para las aplicaciones en desorción térmica.
• Cámara integral compatible UHV, posibilidad de una cámara enfriada con nitrógeno.
• Software MASsoft de control mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN.
• Posibilidad de evolución hacia especificaciones plasma / SIMS.

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