| Hiden XBS MBE, Sistema de Medida y de Control de la Velocidad de deposición para la Epitaxia por Chorros Moleculares (EJM) – Analizador de haces Cruzados (XBS) |  | Espectrómetros de masas cuadrupolares de triple filtro con XBS para los análisis precisos de gases y para las aplicaciones científicas.
- Medida y control de flujo para EJM/MBE
- Estudios de haces moleculares
- Análisis de múltiples fuentes de haces cruzados
- Analizador de gas residual de altas prestaciones
- Contaminantes de la cámara / de los gases de procesos.
- Desorción / estudios de desgasificación / ciclos de horneado
- Monitorización de flujo de las células de efusión y de las fuentes de bombardeo electrónico.
| Características de los espectrómetros de masas Hiden XBS para las aplicaciones científicas, los análisis de los procesos en vacío y las medidas de flujo para EJM – MBE: - Gran sensibilidad, detección mejorada del producto puro (100%) a 5 ppb, rango de masas hasta 510 uma
- Estabilidad mejorada en el tramo largo (menos de ± 0,5% de variación global pico a pico en 24 h)
- Fuente de haces de iones cruzados, ángulo variable entre +/- 35š en relación con el eje transversal
- Control de la fuente de iones para ionización suave y espectrometría de masas APMS.
- Sensibilidad aumentada en el caso de masas elevadas, calibración automática de la escala de masas
- Apertura del haz configurado: 2 mm
- Resistencia a la contaminación aumentada por prefiltrado RF
- Cubierta integral compatible UHV enfriada con agua
- Limite de detección hasta 30 iones / durante estudios de haces moleculares
- Control de velocidad de incremento inferior o igual a 1Å / min
- Software MASsoft de control, compatible con WindowsTM , mediante un interface RS232, RS485 o una red Ethernet LAN
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